С прилагането на технологията IoT в индустриалните области, индустриалният интернет се превърна в посока и тенденция на развитие. Параметрите на газовия поток са съществени данни за промишленото производство, научните експериментални измервания и различни икономически изчисления, формиращи решаващ компонент на измерването на енергията. Приложението им в индустриалната автоматизация става все по-широко разпространено. В днешната ера ролята на сензорите за газов поток в националната икономика става все по-видна: те присъстват в сектори като природен газ, металургия, минно дело, петрол, авиация, промишлени опаковки и промишлени чисти помещения. По-долу изследваме съответните приложения на сензорите за поток в промишлени условия.
Инструментите, измерващи потока на флуида, се наричат заедно разходомери или разходомери, нареждайки се сред най-критичните устройства в промишленото измерване. Измерването на флуидния поток заема жизненоважна позиция в промишленото автоматизирано производство и управление на процеси. Течностите са широко категоризирани в течни и газообразни среди, като сензорите за поток служат като ключови компоненти за измерване и на двете.
Чрез измерване на газовия поток може да се наблюдават процесите на потока, да се автоматизират производствените контроли и да се прилага управление на енергията. В усъвършенствани прецизни производствени съоръжения-като тези за производство на пластини или прецизни инструменти-производството трябва да се извършва в чисти помещения. Въздухът в тези чисти стаи трябва да достигне нива на чистота клас 1000 или дори клас 100, за да отговаря на производствените изисквания. Тези затворени чисти помещения изискват ежедневна подмяна с чист въздух. Това налага сензори за поток за автоматизиран мониторинг и контрол, гарантиращи задоволяване на производствените нужди, като същевременно се предотвратява ненужната свръхконсумация на енергия, като по този начин ефективно се подобрява съотношението на вход-изход. Сензорът за масов поток на газ Siargo FS4001 използва собствения сензор за поток MEMS и технология за опаковане на Siargo. Неговият диапазон на измерване обхваща от 0 до 30 sccm до 0 до 1000 sccm. Дебитът на всеки модел се постига чрез специално проектирана опаковка и интелигентна електроника за осигуряване на оптимална чувствителност.
Корпусът е изработен от химически инертен и термично стабилен поликарбонатен материал. Той се характеризира с високо налягане от 5 BAR (73 PSI), като се възползва от уникалната MEMS чип архитектура на Siargo, специализирана технология за опаковане и здрав корпус на сензора. Приложенията обхващат широк спектър, включително апаратура (напр. газова хроматография-масспектрометрия), откриване на течове, контрол на процеси, измерване на газов поток и медицински приложения. FS4001 изисква захранване от 8 до 24 VDC, за да осигури аналогов и/или цифров потребителски интерфейс. Аналоговият изход е линеен от 0,5 до 4,5 VDC, съответстващ на поток от 0 до -пълна скала. Цифровият изход се предава чрез RS232. Комуникационният протокол RS232 може да бъде намерен в това ръководство.
Второ, въз основа на индустриални приложения сензорите могат да бъдат категоризирани в типове поток и микро{0}}поток. Например, контролът на микро-потока е от съществено значение за постигане на оптимален мониторинг в сценарии като добавяне на кислород за каталитични реакции или пълнене с азот в опаковката на картофен чипс. Сензорът за микро-поток F1031, предлаган от Gcain.com, използва термодинамични принципи за откриване на газов поток в канал на потока, осигурявайки отлична точност и повторяемост. Сензорът за микро-поток F1031 включва вътрешен температурен сензор, като всеки модул е подложен на собствено калибриране за температурна компенсация. Той също така разполага с линеен аналогов изход за напрежение за удобна употреба.
Чипът се състои от два пакета термодвойки и нагревателен резистор: купчините термодвойки са симетрично разположени преди и след нагревателния резистор; нагревателният резистор и горещите връзки на пакетите термодвойки са монтирани върху термично изолирана основа. Нагревателният резистор загрява връзките на термодвойката. Температурният градиент между горещите и студените преходи генерира изходно напрежение-присъщият ефект на Seebeck. Когато течността е неподвижна, изотермите симетрично проследяват права линия, перпендикулярна на центъра на нагревателния резистор, поддържайки равни температури в симетрични точки от двете страни. Когато течността тече отляво надясно, изотермите се накланят надясно. Температурите в симетрични позиции от двете страни на нагревателния елемент вече не са еднакви. Тази температурна разлика може да бъде измерена чрез пакети термодвойки, поставени от двете страни на нагревателния елемент. Тъй като преносът на топлина във флуида зависи единствено от масата на флуида и неговия топлинен капацитет, сензорът може директно да измерва дебита на масовия флуид.
Освен това промишлените приложения, изискващи азот, амоняк или инертни газове за производство, разчитат на сензори за газов поток за измерване и наблюдение. Сензорите за масов поток от серията FS4000, предлагани от GCA, използват технологията на сензора за поток MEMS и технологията за интелигентно електронно управление, разработени специално за общ мониторинг на газовия поток. Този сензор директно измерва газовия масов поток с ниска загуба на налягане. Той е подходящ за наблюдение на потока на пречистен въздух или азот и може да се използва и в проби от околната среда (като хроматографски инструменти). Сензорът за масов поток FS4003 разполага с вътрешен диаметър на тръбата 3 мм и предлага ценово-ефективен обхват на измерване до 5SLPM. Подходящ е за броячи на частици и различни аналитични инструменти. Сензорът за масов поток FS4008 разполага с вътрешен диаметър на тръбата 8 мм и обхват на измерване до 50 SLPM. Може да се използва в оборудване за анестезия и приложения за откриване на чисти газове, като вземане на проби от въздух и газови анализатори.